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热式气体质量流量计


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 产品概述

    热式气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的,具有可测微小流量、稳定性和可靠性高、压力损失极小、量程比高、安装方便重复性高好等优点、广泛应用于半导体工业领域中气体流量的测定。 

 产品优势

    无须压力温度补偿,直接测量气体质量流量,组成简单,出现故障概率小 ;

    量程比高(1000:1左右);

    灵敏度高,尤其适合于大管径、低流速的流量测量 ;

    结构多样,分插入式、管道式安装,安装灵活,装卸方便,使用简便 ;

    无活动部件,结构坚固,抗振,压损几乎没有;

    可应用于高温场合和腐蚀环境中。


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